FabStat 是独立的应用程序，其设计旨在无缝地集成到您现有的硅片数据管理系统中。利用 FabStat，您可以监控整条生产线——密切监视各个工具和硅片。发生故障时，FabStat 立即识别脱离控制的工具，并指向那些导致故障的主要信号。FabStat 通过快速识别故障、问题原因和解决方案来减少您的停机时间。FabStat 是一款独立完整的可执行程序，并带有连接至数据收集系统和 SPC 系统的接口。FabStat 有一个内置的接口，针对使用广泛的数据收集系统。其接口可以轻松简便地进行修改，以便集成几乎所有硅片数据系统（从初代系统至最新的 300 mm 工具）。